Устройство предназначено для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 300-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации, поверхности, ассистирования при напылении.
| Электрические параметры | |
| Напряжение питания, В | 600-4000 В |
| Общие характеристики | |
| Рабочая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72 |
| Рабочие газы | любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства |
| Масса, кг | не более 11 кг |
| Ионный источник | |
| Диапазон рабочих давлений в камере | 0,001-10 Пa |
| Форма пучка | полый прямоугольный |
| Максимальный ток пучка, мА | 1500 mA |
Нет отзывов об этом товаре.