Принцип работы устройства заключается в ионизации атомов рабочего газа в разряде постоянного тока в скрещенных магнитном и электрическом полях. Разряд образуется при подаче рабочего газа и напряжения питания в область, ограниченную двумя магнитными полюсами катода и анодом.
Максимальная скорость распыления материала мишени достигается при угле падения ионов около 30° к её поверхности (точное значение зависит от рода рабочего газа, материала мишени и рабочего напряжения).
| Ионный источник | |
| Длина пучка | 474 мм |
| Форма пучка | Полый прямоугольный |
| Ширина пучка | 42 мм |
| Толщина пучка | 5 мм |
| Энергия ионов | 500..2500 эВ |
| Максимальный ток пучка, мА | 1250 мА |
| Газовая эффективность | 9 мА/sccm |
| Максимальная линейная плотность тока | 25 мА/см |
| Максимальный угол расхождения пучка, º | 2º |
Нет отзывов об этом товаре.