Высокоэффективный генератор плазмы на основе высокочастотного индукционного разряда (трансформаторно связанная плазма TCP).
Генератор плазмы - универсальное технологическое устройство для широкого применения процессов ионно-плазменной обработки, отвечает всем требованиям, предъявляемым в промышленном производстве.
РПГ-250 позволяет обеспечить высокую однородность обработки, до 2% на диаметре 200 мм (в реакторе специальной конструкции).
Основной элемент генератора - плоская катушка, через которую пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц). Генераторы выполнены в алюминиевом корпусе, снабжёны коаксиальным вводом.
Рабочая поверхность защищена сапфиром и съёмным защитным экраном из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку.
РПГ-128 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов:
| Генератор плазмы | |
| Диаметр рабочей зоны, мм | 200 мм |
| Максимальная мощность, Вт | 5000 Вт |
| Диапазон давлений, Па | 0,1..10 Па |
| Диаметр по корпусу, мм | 245 мм |
| Диаметр ввода, мм | 60 мм |
| Рабочая частота, МГц | 13,56 МГц |
Нет отзывов об этом товаре.