Установка предназначена для напыления проводящих материалов методом магнетронного напыления в одном цикле, включая ионную очистку перед напылением. Установка выполнена на базе вакуумного поста серии НИКА-2013.
Средства откачки: криогенный насос и спиральный форвакуумный насос
Технологические устройства (на заднем фланце):
На переднем фланце на охлаждаемом вводе вращения установлены:
В комплекте поставки установки:
Все процессы автоматизированы. Управление, контроль процессами с сенсорной панели компьютера.
Цикл предварительной очистки и напыления 4-х материалов (с контролем толщины по свидетелю и температуре) выполняются автоматически.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Установленная мощность | 25,6 кВт |
| Напряжение питания, В | 380-15% +10% |
| Подключение к сети | TN-S |
| Измерение давления | |
| Диапазон рабочих давлений, Па | 0,05..10 Па |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | Ar, O2, N2 |
| Рабочий вакуум, Па | 1·10-3 Па |
| Масса, кг | 850 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 3 |
| Вакуумный пост | |
| Номинальная потребляемая мощность | 18 кВт |
| Размер обрабатываемых подложек | 60х48 мм |
Нет отзывов об этом товаре.