Установка выполнена на базе вакуумного поста серии НИКА-2013.
Средства откачки: криогенный насос НВК-200 и форвакуумный насос - ISP-500C
Технологические устройства (на заднем фланце):
На переднем фланце на охлаждаемом вводе вращения установлены:
В комплекте поставки установки:
Все процессы автоматизированы. Управление, контроль процессами с сенсорной панели компьютера.
Цикл предварительной очистки напыления 4-х материалов (с контролем толщины по свидетелю и температуре) выполняются автоматически.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, кВт | 17 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
| Общие характеристики | |
| Площадь зоны обслуживания | (длина х ширина) мм 4018х5415 |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | аргон, азот, кислород, воздух |
| Рабочий вакуум, Па | 2·10-3 Па |
| Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 2 часов |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более | (длина х ширина х высота) Мм 1618х1415х2053 |
| Масса, кг | не более 900 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 3 |
Нет отзывов об этом товаре.