• Главная

  • Вакуумные камеры

  • Электронно-лучевое оборудование

  • Услуги

  • Установки

  • Устройства

  • Блоки питания

  • Вакуумметры

  • Медиа

  • Контакты

  • Установка нанесения резистивных слоёв Ника-15803


    Код товара: НИКА-15803
    Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
    0.00 р. Без НДС: 0.00 р.
    В корзину

    Установка вакуумного напыления «Ника-15803»

    Назначение: Высокопроизводительное нанесение тонкопленочных резистивных слоев, металлов и сплавов на плоские подложки методом магнетронного распыления.

    ОСНОВНЫЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ

    • Конфигурация напыления: Система оснащена тремя независимыми планарными DC-магнетронами. Поочередная работа магнетронов позволяет получать широкий диапазон номиналов сопротивлений и формировать многослойные структуры без разгерметизации камеры.
    • Прецизионный контроль: Использование «свидетеля сопротивления» непосредственно на барабане гарантирует высокую точность достижения заданного номинала в каждом цикле.
    • Реактивные процессы: Трехканальная система напуска газов (Ar, O2, N2) позволяет корректировать удельное сопротивление и температурный коэффициент сопротивления (ТКС).
    • Подготовка поверхности: Встроенный ионный источник для предварительной очистки подложек ионами кислорода обеспечивает максимальную адгезию слоев.

    ЭФФЕКТИВНОСТЬ И ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ

    • Высокая загрузка: Вертикальный барабан на 72 подложки (60х48 мм). Вертикальное расположение исключает попадание «шелухи» на рабочую поверхность.
    • Термическая подготовка: Нагреватель из углеродного композита (3 кВт) для быстрого нагрева подложек до температур 200–350 °C.
    • Динамика вакуума: Выход на рабочий вакуум 3·10-3 Па за 10 минут. Полный технологический цикл: 40–60 минут.
    • Повторяемость: Равномерность параметров ±2% по подложке и ±3% по загрузке/между партиями.

    АВТОМАТИЗАЦИЯ И СЕРВИС

    • Управление: Полная автоматизация на базе промышленного контроллера с открытым ПО и неограниченной базой технологических рецептов.
    • Обслуживание: Выдвижной фланец и легкосъемные внутренние экраны максимально упрощают процедуру очистки и технического обслуживания.
    • Габариты: Компактное исполнение 1400х2000х1000 мм.

    Гарантия: 24 месяца. Срок монтажа, пуско-наладки и инструктажа персонала: 1 неделя.

    Электрические параметры
    Максимальное потребление тока по фазам, А 22,7
    Общие характеристики
    Предельный вакуум, Па не более 1·10-5
    Рабочие газы Аргон, кислород
    Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 30
    Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
    Расход охлаждающей жидкости, л. не более 15
    Масса, кг (без учета форвакуумного насоса), кг, не более 650
    Количество каналов газонапуска, шт 3

    Нет отзывов об этом товаре.