Назначение: Высокопроизводительное нанесение тонкопленочных резистивных слоев, металлов и сплавов на плоские подложки методом магнетронного распыления.
Гарантия: 24 месяца. Срок монтажа, пуско-наладки и инструктажа персонала: 1 неделя.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 22,7 |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 1·10-5 |
| Рабочие газы | Аргон, кислород |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 30 |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 15 |
| Масса, кг | (без учета форвакуумного насоса), кг, не более 650 |
| Количество каналов газонапуска, шт | 3 |
Нет отзывов об этом товаре.