Откачка сухая, безмаслянная. Средства откачки - турбомолекулярный и форвакуумный насос. Форвакуумный насос размещается за габаритами установки.
Вакуумная камера горизонтальная, водоохлаждаемая, оснащена смотровым окном.
Установка специального назначения, удачный компромисс между 2012 и 2013 сериями: конструкция вакуумного поста - 2012 с горизонтальной камерой, а крепление фланца - аналогично серии 2013.
Технологические устройства:
- источник ионов ИИ-250;
- стол водоохлаждаемый;
- свидетель сопротивления.
В установку встроена автоматическая система автоматического водоснабжения (СОВА).
Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 7 А |
| Мощность, кВт | 4,4 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В (+10-15) % |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | аргон, кислород |
| Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 2 часов |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 15 л |
| Масса, кг | не более 600 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 2 |
Нет отзывов об этом товаре.