Ника-2012-158 - вакуумная установка для одностороннего напыления резистивных и проводниковых слоёв толщиной до 3 мкм.
Составные части, устройства установки
1- каркас
2- вакуумная камера
3 - фланец верхний
4- фланец нижний (рабочий)
5- рама подъемника
6- монитор
7- контроллер ТМН
8- полка с клавиатурой и мышью
9- блок питания ионного источника (БПИИ)
10- блок питания нагревателя (БПН)
11 - блок питания магнетронов (БПМ)
12 - блок водораспределения (БВР)
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 14 A |
| Мощность, кВт | 13,6 КВт |
| Напряжение питания, В | 400 (+10-15) % |
| Подключение к сети | TN-S |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 1·10-5 Па |
| Рабочие газы | Аргон, кислород |
| Рабочий вакуум, Па | не более 4·10-3 Па |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 30 мин |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллирован- ной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 15 л |
| Масса, кг | (без учета форвакуумного насоса), кг, не более 650 |
| Количество каналов газонапуска, шт | 2 |
Нет отзывов об этом товаре.