Откачка сухая, безмасляная. Средства откачки - крионасос и форвакуумный насос. Форвакуумный насос и компрессорная станция крионасоса размещаются за габаритами установки.
Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами. Рабочий фланец - нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.
Технологические устройства установки НИКА-149:
- источник ионов ИИ-125 (с управляемой заслонкой);
- магнетрон кольцевой (с управляемой заслонкой);
- планетарная карусель с носителями изделий (управление вращением карусели и сателлитов);
- датчик температуры.
Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.
Скорость напыления никеля на детали вращения 4-5 мкм/час.
Напыление других материалов возможно.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, КВт | 20 КВт |
| Напряжение питания, В | 380 В |
| Подключение к сети | TN-S |
| Максимальная потребляемая мощность, Вт | 19 kW/19 кВт |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | аргон, азот, воздух |
| Рабочий вакуум, Па | 6·10-3 Па |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 30 мин |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 15 л |
| Масса, кг | не более 550 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 1 |
Нет отзывов об этом товаре.