Откачка сухая, безмасляная.
Средства откачки - криогенный насос и форвакуумный насос.
Компрессорная станция крионасоса и форвакуумный насос размещаются за габаритами установки.
Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами(3 шт), рабочий фланец -нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.
Технологические устройства установки НИКА-145:
- нагреватель;
- РПГ-128 - радиочастотный плазменный генератор;
- 2 магнетрона (круглые);
- термический испаритель (2);
- карусель с вращением носителей для двухсторонней обработки деталей;
- датчик температуры;
- кварцевый измеритель толщины;
Управление программное, режимы работы: обеспечивающее проведение:
- наладочный;
- ручной;
- автоматический режим;
Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, КВт | 15 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В (+10-15) % |
| Подключение к сети | TN-S |
| Максимальная потребляемая мощность, Вт | 8 kVt/8 кВт |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 |
| Рабочие газы | аргон, кислород |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 120 мин |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 15 л |
| Масса, кг | не более 600 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 2 |
| Вакуумный пост | |
| Средства откачки | ВВН криогенный насос НВК 160-0,8 ФВН форвакуумный насос НВСп-35 |
Нет отзывов об этом товаре.