Откачка сухая, безмасляная.
Средства откачки - турбомолекулярный насос и форвакуумный насос. Форвакуумный насос размещается за габаритами установки.
Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами. Рабочий фланец -нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.
Технологические устройства установки НИКА-148:
- электродуговой испаритель с заслонкой с молибденовым катодом;
- электродуговой испаритель с заслонкой и с титановым катодом;
- нагреватель с углекомпозитным нагревательным элементом;
- РПГ-128 - радиочастотный плазменный генератор с согласующим устройством;
- планетарная карусель для размещения загрузки заказчика;
- пирометр.
Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, КВт | 24 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В (+10-15) % |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 7·10-5 Па |
| Рабочий вакуум, Па | 1·10-3 Па |
| Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 2 часов |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 30 мин |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 15 л |
| Масса, кг | не более 750 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 2 |
| Вакуумный пост | |
| Средства откачки | ВВН турбомолекулярный насос FF-200/1300E ФВН форвакуумный насос НВСп-35 |
Нет отзывов об этом товаре.