Пример реализации компактной специализированной вакуумной установки ионного травления изделий Заказчика на базе вакуумного поста "НИКА-2012".
Камера водоохлаждаемая со смотровыми окнами, размер камеры Ø500 х 400 мм.
Технологические устройства:
В одном автоматическом цикле выполняется процесс травления восьми изделий.
После загрузки изделий в камеру, оператор её закрывает, рабочий цикл включается автоматически, по заданному рецепту (программе) выполняется рабочий цикл.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 14 |
| Мощность, КВт | 9 |
| Напряжение питания, В | 380 (10±15%) |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 1×10⁻³ |
| Рабочие газы | аргон |
| Рабочий вакуум, Па | не более 4×10⁻³ |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 30 |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Масса, кг | не более 500 |
| Количество каналов газонапуска, шт | 2 |
| Выходные параметры | |
| Расход охлаждающей жидкости, л/мин | не более 1500 |
| Вакуумный пост | |
| Расположение камеры | Камера вертикальная Ф500 мм |
| Средства откачки | Форвакуумный насос (ФН) НВСп-35 |
| Система оборотного водоснабжения | |
| Объем бака, л | не более 15 |
Нет отзывов об этом товаре.