• Главная

  • Электронно-лучевое оборудование

  • Установки

  • Комплектующие

  • Блоки питания

  • Вакуумметры

  • Медиа

  • Контакты

  • НИКА-166 установка напыления PVD покрытий


    Производитель: Beams&Plasmas
    Код товара: ЛЦМК.166
    Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
    0.00 р. Без НДС: 0.00 р.
    В корзину

    Установка напыления PVD покрытий НИКА-166 предназначена для формирования упрочняющих, антифрикционных и иных функциональных покрытий.
    Основная область применения установки - нанесение упрочняющих покрытий на осевой инструмент и твёрдосплавные пластины.

    Установка может оснащаться различными технологическими устройствами в зависимости от требований технологии.

    • Вакуумная камера диаметром 500 мм с тремя дверями для облегчения обслуживания;
    • На каждой двери по две позиции для размещения магнетронов или дуговых испарителей с высотой зоны обработки 200 мм;
    • Источник ионов для подготовки поверхности и ассистирования;
    • Нагреватель 3 кВт;
    • Генератор плазмы для ассистирования и азотирования (опционально);
    • Карусель диаметром 350 мм. 


    Покрываемые изделия размещаются на планетарной карусели диаметром 350 мм, максимальная длина покрываемого изделия - 250 мм. Сателлиты выполнены съёмными для облегчения перегрузки.
    Установка может комплектоваться различными технологическими устройствами в зависимости от требований технологии:

    • планарными или цилиндрическими магнетронами для формирования плотных многослойных покрытий различных соединения без капельной фазы;
    • линейными дуговыми испарителями для высокоскоростного нанесения покрытий с низкой долей капельной фазы;
    • импульсными дуговыми испарителями для нанесения алмазоподобных DLC покрытий;
    • генератором плазмы для увеличения скорости нанесения покрытий и управления их стехиометрическим составом за счёт пространственного разделения процессов распыления мишени и ионизации химически активного газа (азота, кислорода).
      Азотная плазма высокой плотности позволяет производить азотирование деталей перед нанесением твёрдого покрытия.\
    • системами термического испарения в магнетронном разряде (ТИМР) для высокоскоростного (до 1 мкм/мин) хромирования.

    Нагревательный элемент из углерод-углеродного композита, закрытый металлическим экраном для предохранения от запыления, позволяет быстро и эффективно нагреть загрузку. В отличии от нагрева за счёт ионной бомбардировки, инфракрасное излучение равномерно нагревает все изделия в загрузке, не вызывая локального перегрева, распыления режущих кромок и ожогов от микродуг на поверхности изделий.

    Электрические параметры
    Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
    Мощность, кВт 24 КВт
    Напряжение питания, В 380В +10-15 %
    Общие характеристики
    Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
    Рабочий вакуум, Па 3·10-3 Па
    Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
    Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 40 мин
    Расход охлаждающей жидкости, л. 15 литров
    Масса, кг не более 850 кг
    Количество каналов газонапуска, шт 2
    Вакуумный пост
    Средства откачки ВВН (Турбомолекулярный насос KYKY FF-200/1300E (ТМН) ФВН (Форвакуумный спиральный насос Edwards XDS35i (ФН)

    Нет отзывов об этом товаре.