Малогабаритная установка серии НИКА 12-500 предназначена для нанесения резистивным испарением тонких слоев металлов толщиной до 3 мкм с прямым контролем толщины в момент нанесения слоёв.
Камера водоохлаждаемая, оснащена тремя смотровыми окнами.
Система безмасляной вакуумной откачки:
Тонкие слои металлов выполняются методом резистивного испарения с предварительной плазменной очисткой и нагревом подложек.
Комплект технологических устройств:
На нижнем (рабочем) фланце размещаются:
На верхнем фланце камеры расположены три кварцевых датчика контроля толщины напыляемых слоёв;
Управление установкой - автоматическое, программное.
Толщина напыления контролируется по кварцевым измерителям толщины.
Надежная система блокировок исключает аварийные ситуации, обеспечивает сохранность оборудования и данных процессов.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, КВт | 22,5 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
| Общие характеристики | |
| Площадь зоны обслуживания | (длина х ширина) мм 2190х2380 |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | аргон |
| Рабочий вакуум, Па | 2·10-3 Па |
| Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 2 часов |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 15 мин. |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | (длина х ширина х высота) Мм 1428х1010х1933 |
| Масса, кг | не более 550 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 1 |
Нет отзывов об этом товаре.