Вакуумная установка магнетронного напыления 3-х материалов на подложки 48 х 60 и 48 х 30 мм с с контролем по свидетелю
Базовая платформа - вакуумный пост НИКА 12-500. Камера Ø500 х 450 мм, водоохлаждаемая, оснащена 3-мя смотровыми окнами.
В единой интегрированной стойке расположены вакуумная камера, устройства сухой вакуумной откачки (НВК-160) и блоки управления, питания технологических устройств.
За габаритами установки размещены: ФВН (НВСп) и компрессор крионасоса (НВК), система автоматического оборотного водоснабжения (СОВА).
Рабочий фланец - нижний, на нем расположены технологические устройства и карусель с носителями. В комплект технологических устройств входят:
В комплекте поставки - 2 комплекта по 8 секторных носителей для 2-х типоразмеров пластин (40 Х 68 и 48 х 30 мм).
В установке реализован полностью автоматизированный процесс напыления с предварительной ионной очисткой и нагревом подложек.
Подложки размещаются на горизонтальной карусели, оснащенной системой унифицированного крепления носителей.
Карусель устанавливается на центральный ввод вращения. Ввод вращения оригинальной конструкции - водоохлаждаемый, оснащен системой съема данных температуры изделий и системой контроля толщины напыления по свидетелю, датчик размещается на одном из носителей.
Все процессы автоматизированы, управление и контроль процессами с сенсорной панели компьютера, в том числе и дистанционно.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, кВт | 22 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
| Подключение к сети | TN-S |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | аргон |
| Рабочий вакуум, Па | не более 5·10-3 Па |
| Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 2 часов |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 10 мин |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | 12 |
| Масса, кг | без компрессорной установки и форвакуумного насоса не более 800 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 3 |
Нет отзывов об этом товаре.