Компактная многофункциональная установка выполнена на базе вакуумного поста НИКА-2012-ВП с выкатным фланецем и камерой, оснащенной двумя откидными дверями.
В разработанной и серийно изготавливаемой установке в одном технологическом цикле реализованы:
Перечень устройств установки Ника-12-500-146:
Загрузка барабанного типа, носители съемные (типоразмеры пластин: 60 х 48 и 30 х 24, толщиной 0,5...1,0 мм).
Суммарная загрузка - 63 пластины.
Управление автоматическое программное, контроль процессов по свидетелю, по температуре.
Надежная система блокировок исключает аварийные ситуации, обеспечивает сохранность оборудования и данных процессов.
Дистанционный доступ к рабочим программам предусмотрен.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, кВт | 24 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочий вакуум, Па | 3·10-3 Па |
| Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 2 часов |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 40 мин |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | 15 литров |
| Масса, кг | не более 850 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 2 |
| Вакуумный пост | |
| Средства откачки | ВВН (Турбомолекулярный насос KYKY FF-200/1300E (ТМН) ФВН (Форвакуумный спиральный насос Edwards XDS35i (ФН) |
Нет отзывов об этом товаре.