Установка магнетронного напыления НИКА-154 предназначена для двухстороннего магнетронного напыления контактных металлических слоев Cr, Ni, Ti, Ag, Cu толщиной 70-500 мкм на подложки двух типоразмеров: ∅76 мм и ∅100 мм.
Установка НИКА-154 выполнена на базе вакуумного поста НИКА-2013, в едином конструктиве размещены средства откачки, управления, охлаждения, технологические устройства и блоки питания.
Технологические устройства:
- Источник ионов ИИ-280;
- Сдвоенный жидкофазный магнетрон 2х100К (Cu);
- Протяженный магнетрон L300 (Cr, Ni, Ti) 2 шт.;
- Двухпозиционный магнетрон - 2х100К;
- Нагреватель L300.
Одновременно обрабатывается с 2-х сторон ∅76 мм (45 шт.) или ∅100 мм (30 шт.).
Все технологические устройства размещаются на заднем фланце. Загрузка проводится с переднего (рабочего) фланца.
Система управления оснащена: системой контроля толщины напыленного слоя (по значению удельного сопротивления) по свидетелю сопротивления; датчиком температуры нагрева подложек; позиционируемой заслонкой. Все процессы автоматизированы, управление с сенсорной панели компьютера. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен.
| Электрические параметры | |
| Мощность, кВт | 25,3 КВт |
| Напряжение питания, В | 380 В |
| Подключение к сети | TN-S |
| Максимальная потребляемая мощность, Вт | 26 kW/26 кВт |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 2·10-4 Па |
| Рабочие газы | аргон, кислород, воздух |
| Рабочий вакуум, Па | 2·10-3 Па |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 20 мин. |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 15 л |
| Масса, кг | не более 1000 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 2 |
Нет отзывов об этом товаре.