Универсальная установка одностороннего или двустороннего напыления проводящих и резистивных слоев серии НИКА-2013.
Камера стандартного размера (Ø700 х 500 мм).
Конструкция при смене барабана позволяет на одной установке выполнять напыление подложек ( 60 х 48 мм) с одной или двух сторон.
Загрузка может устанавливается на 2 типа носителей:
Для напыления "толстой" меди использована оригинальная конструкция жидкофазного магнетрона, которая позволяет проводить процессы с частичной (половинной) загрузкой.
Конструкция и системы управления установки позволяют осуществлять контролируемый нагрев изделий до 450 град С и напыление с контролем сопротивления по свидетелю в автоматическом режиме.
Комплект технологических устройств:
Все процессы автоматизированы. Все действия оператора, текущие параметры процессов сохраняются в журнале. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен.
Надежная система блокировок предусмотрена.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, кВт | 47 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | аргон, азот, кислород, воздух |
| Рабочий вакуум, Па | 5·10-3 Па |
| Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 2 часов |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | (длина х ширина х высота) Мм 1618х1415х2053 |
| Охлаждающая жидкость | Дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Масса, кг | не более 900 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 4 |
Нет отзывов об этом товаре.