• Главная

  • Электронно-лучевое оборудование

  • Установки

  • Комплектующие

  • Блоки питания

  • Вакуумметры

  • Медиа

  • Контакты

    2. Установки
    3. НИКА-135 Установка магнетронного напыления

    НИКА-135 Установка магнетронного напыления


    Производитель: Beams&Plasmas
    Код товара: ЛЦМК.135
    Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
    0.00 р. Без НДС: 0.00 р.
    В корзину

    Установка выполнена на базе вакуумного поста серии НИКА-2013.

    Средства откачки: криогенный насос НВК-200 и форвакуумный насос - ISP-500C

    Технологические устройства (на заднем фланце):

    • 4 магнетрона;
    • 1 ионный источник;
    • 2 нагревателя.

    На переднем фланце на охлаждаемом вводе вращения установлены:

    • барабан с носителями (8 пластин 48 х 60), суммарная загрузка - 102 пластин;
    • барабан с заслонками;
    • системы измерений температуры и контроля толщины по свидетелю.

    В комплекте поставки установки:

    • 2 комплекта сменных носителей (1 комплект - 17 носителей);
    • сменные защитные экраны камеры;
    • система оборотного автоматического водоснабжения (СОВА).

    Все процессы автоматизированы. Управление, контроль процессами с сенсорной панели компьютера.

    Цикл предварительной очистки напыления 4-х материалов (с контролем толщины по свидетелю и температуре) выполняются автоматически.

    Электрические параметры
    Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
    Мощность, КВт 17 КВт
    Напряжение питания, В 380В +10-15 %
    Общие характеристики
    Площадь зоны обслуживания (длина х ширина) мм 4018х5415
    Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
    Рабочие газы аргон, азот, кислород, воздух
    Рабочий вакуум, Па 2·10-3 Па
    Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
    Габаритные размеры (ДхШхВ), мм (длина х ширина х высота) Мм 1618х1415х2053
    Масса, кг не более 900 кг
    Количество каналов газонапуска, шт 3

    Нет отзывов об этом товаре.
    Beams&Plasmas © 2017