Малогабаритная установка выполнена на базе вакуумного поста НИКА-12-500, камера оснащена 3-мя смотровыми окнами.
Откачка сухая безмасляная - турбомолекулярный и сухой спиральный насосы.
Установка предназначена для нанесения методом резистивного испарения тонких слоев металлов толщиной до 3 мкм, на одном из испарителей реализована функция дозированной подачи материала - установлен вибробункер оригинальной конструкции.
Установкой магнетрона реализована функция нанесения подслоя с контролем толщины в момент нанесения слоёв
На нижнем (рабочем) фланце расположены технологические устройства:
Суммарная загрузка - 15 пластин (60 х 48 мм).
В комплекте поставки:
Все процессы автоматизированы, управление и контроль процессами с сенсорной панели компьютера, дистанционный доступ предусмотрен.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
| Мощность, КВт | 22 кВт |
| Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | аргон |
| Рабочий вакуум, Па | 5·10-3 Па |
| Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 2 часов |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 10 мин |
| Охлаждающая жидкость | Дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Масса, кг | 800 кг (+100кг компрессорная установка, + 24 кг. Форвакуумный насос) |
| Количество каналов газонапуска, шт | 3 |
Нет отзывов об этом товаре.