Вакуумный пост серии НИКА-2013 с горизонтальной камерой уменьшенного размера предназначена для специальных задач, требующих горизонтального размещения загрузки.
Установка оснащена:
В единой стойке размещаются устройства откачки, автоматики, блоки питания технологических устройств.
Боковые фланцы Ø500 мм размещены на независимых подвесах с возможностью горизонтального перемещения.
Конструкция вакуумного поста позволяет использовать фланцы вакуумных постов серии НИКА-12-500.
На заднем фланце предусмотрено размещение технологических устройств. Передний рабочий фланец служит для размещения загрузки.
Камера имеет боковой фланец ISO160 для размещения смотрового окна или дополнительного оборудования.
Монтаж в стойку обеспечивает пространство до 24U для блоков питания и другого оборудования.
| Электрические параметры | |
| Подключение к сети | 3ф 380В (3P+N+PE) |
| Общие характеристики | |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | 1600 мм х 850 мм х 2100 мм (Ширина х Глубина х Высота) |
| Вакуумный пост | |
| Бустерный насос | Опция |
| Стандартная комплектация | БУВС - блок управления вакуумной системой; БВР - блок водораспределения; ВМЦ - вакуумметр магниторазрядный (высокий вакуум) 1 шт.; ВТРЦ - вакуумметр терморезистивный (низкий вакуум) 3 шт.; Система управления - Компьютер, монитор (сенсорный), ПУ (пульт управления) Панель подключений |
| Компоновка | Камера - горизонтальная, рабочий фланец - передний, задний фланец - для технологических устройств. Фланцы по размерам унифицированы с вакуумным постом НИКА 12-500 (Ø500 мм, 6 унифицированных посадочных места ISO63) |
| Средства откачки | Откачка сухая, безмасляная. Высокий вакуум - ТМН (турбомолекулярный насос) или Крионасос; Форвакуум - спиральный насос. Выбор модели определяется в ТЗ на установку |
| Вакуумная камера | |
| Ориентация | Горизонтальная |
| Материал | AISI316 |
| Диаметр | 500 мм |
| Длина | 400 мм |
| Окна | 1 х ISO160 (варианты исполнений предусмотрены) |
Нет отзывов об этом товаре.