Вакуумный пост НИКА-2013-500-ВП (исполнение НИКА-2013-ВП с горизонтальной малогабаритной камерой).
Камера водоохлаждаемая, из нержавеющей стали, размер Ø500х400 мм.
Безмасляная откачка (турбомолекулярный или криогенный насос).
Все откачные устройства интегрированы в единую стойку.
Боковые фланцы Ø500 мм на независимых подвесах с возможностью горизонтального перемещения.
Отличие предусматривает размещение на заднем фланце технологических устройств (кол-во определяется ТЗ). Передний фланец - рабочий, для размещения загрузки.
Системы управления (БУВС, ПК, монитор), охлаждения (БВР, СОВА-опционально), контроля вакуума (ВМЦ, ВТРЦ) входят в состав вакуумного поста штатно как и в НИКА-2013-ВП.
Конструкция вакуумного поста позволяет использовать фланцы вакуумных постов серии НИКА-12-500.
Площадь размещения с зоной обслуживания 7 м2.
Основное применение для специальных задач, требующих горизонтального размещения загрузки.
| Электрические параметры | |
| Подключение к сети | 3ф 380В (3P+N+PE) |
| Общие характеристики | |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | 1600 мм х 850 мм х 2100 мм (Ширина х Глубина х Высота) |
| Вакуумный пост | |
| Бустерный насос | Опция |
| Стандартная комплектация | БУВС - блок управления вакуумной системой; БВР - блок водораспределения; ВМЦ - вакуумметр магниторазрядный (высокий вакуум) 1 шт.; ВТРЦ - вакуумметр терморезистивный (низкий вакуум) 3 шт.; Система управления - Компьютер, монитор (сенсорный), ПУ (пульт управления) Панель подключений |
| Компоновка | Камера - горизонтальная, рабочий фланец - передний, задний фланец - для технологических устройств. Фланцы по размерам унифицированы с вакуумным постом НИКА 12-500 (Ø500 мм, 6 унифицированных посадочных места ISO63) |
| Средства откачки | Откачка сухая, безмасляная. Высокий вакуум - ТМН (турбомолекулярный насос) или Крионасос; Форвакуум - спиральный насос. Выбор модели определяется в ТЗ на установку |
| Вакуумная камера | |
| Ориентация | Горизонтальная |
| Материал | AISI316 |
| Диаметр | 500 мм |
| Длина | 400 мм |
| Окна | 1 х ISO160 (варианты исполнений предусмотрены) |
Нет отзывов об этом товаре.