Унифицированный вакуумный пост НИКА-2013-ВП под "большие загрузки" с горизонтальной камерой.
Камера водоохлаждаемая, из нержавеющей стали, размер Ø700 х 550 мм.
Откачка безмасляная (турбомолекулярный или криогенный и спиральный форвакуумный насосы). Все откачные устройства интегрированы в единую стойку, размещены под камерой.
Боковые фланцы камеры Ø700 мм на независимых подвесах с возможностью горизонтального перемещения и поворота для обслуживания и загрузки.
Базовый вариант предусматривает:
В основной 19' стойке размещаются штатно системы управления (БУВС, ПК, монитор), охлаждения (БВР, СОВА-опционально), контроля вакуума (ВМЦ, ВТРЦ), так же блоки управления и питания технологических устройств (посадочных мест - 24U).
Площадь размещения с зоной обслуживания 7,5 м2.
Основное применение вакуумного поста - для проектирования установок с большими загрузками (к примеру, гарантировано размещение более 100 пластин размером 48 х 60 - для односторонней обработки и 80 для двухсторонней).
Предусмотрено исполнение с уменьшенной камерой.
| Электрические параметры | |
| Подключение к сети | 3ф 380В (3P+N+PE) |
| Общие характеристики | |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | 1620/3150 мм х 1420/2400 мм х 2100 мм (Ширина х Глубина х Высота с закрытыми/открытыми дверями шкафа) |
| Вакуумный пост | |
| Бустерный насос | Опционально |
| Стандартная комплектация | БУВС - блок управления вакуумной системой; БВР - блок водораспределения; ВМЦ - вакуумметр магниторазрядный (высокий вакуум) 1 шт.; ВТРЦ - вакуумметр терморезистивный (низкий вакуум) 3 шт.; Система управления - Компьютер, монитор (сенсорный), ПУ (пульт управления) Панель подключений |
| Компоновка | Камера - горизонтальная, рабочий фланец - передний, задний фланец - для технологических устройств. Фланцы оснащены механизмами перемещения и поворота. |
| Средства откачки | Откачка сухая, безмасляная. Высокий вакуум - ТМН (турбомолекулярный насос) или Крионасос; Форвакуум - спиральный насос. Выбор модели определяется в ТЗ на установку |
| Вакуумная камера | |
| Ориентация | Горизонтальная |
| Материал | Нержавеющая немагнитная сталь (AISI316) |
| Диаметр | 700 мм |
| Длина | 550 мм |
| Окна | 4 x ISO80 (с заслонкой) |
| Фланец устройств | Задний, штатно 7 посадочных мест (ISO63) |
| Рабочий фланец | Передний, штатно: 4 окна ISO80 c заслонкой) и центральный ввод вращения (ISO80) |
Нет отзывов об этом товаре.