Малогабаритная установка травления кремниевых пластин (Ø100 мм) выполнена на базе вакуумного поста серии 2013-500 (камера уменьшенного размера).

В одной стойке размещены средства откачки, управления, охлаждения, технологические устройства и блоки питания.

Основные технологические устройства:

  • ВЧ-магнетрон оригинальной конструкции;
  • ВЧ-генератор;
  • Магнитная система.

Рабочий фланец - передний, на нем установлен ВЧ-магнетрон и загрузочный модуль.

Одновременно обрабатываются 8 пластин Ø100 мм.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 31 А
Мощность, КВт 15 кВт
Напряжение питания, В 380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 20 мин.
Масса, кг не более 650 кг
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочий вакуум, Па 1·10-3 Па

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка плазмохимического травления НИКА-134

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.134
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная