Малогабаритная установка травления кремниевых пластин (Ø100 мм) выполнена на базе вакуумного поста серии 2013-500 (камера уменьшенного размера).
В одной стойке размещены средства откачки, управления, охлаждения, технологические устройства и блоки питания.
Основные технологические устройства:
- ВЧ-магнетрон оригинальной конструкции;
- ВЧ-генератор;
- Магнитная система.
Рабочий фланец - передний, на нем установлен ВЧ-магнетрон и загрузочный модуль.
Одновременно обрабатываются 8 пластин Ø100 мм.
Электрические параметры | |
Максимальное потребление тока по фазам, А | 31 А |
Мощность, кВт | 15 кВт |
Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
Общие характеристики | |
Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
Рабочий вакуум, Па | 1·10-3 Па |
Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 20 мин. |
Масса, кг | не более 650 кг |
Установка плазмохимического травления НИКА-134
- Производитель: Beams&Plasmas
- Код товара: ЛЦМК.134
- Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
-
Цена договорная