В корзине пусто!
Малогабаритная установка травления кремниевых пластин (Ø100 мм) выполнена на базе вакуумного поста серии 2013-500 (камера уменьшенного размера).
В одной стойке размещены средства откачки, управления, охлаждения, технологические устройства и блоки питания.
Основные технологические устройства:
Рабочий фланец - передний, на нем установлен ВЧ-магнетрон и загрузочный модуль.
Одновременно обрабатываются 8 пластин Ø100 мм.
0 отзывов / Написать отзыв
Теги: НИКА-134, 134