Малогабаритная установка травления кремниевых пластин (Ø100 мм) выполнена на базе вакуумного поста серии 2013-500 (камера уменьшенного размера).

В одной стойке размещены средства откачки, управления, охлаждения, технологические устройства и блоки питания.

Основные технологические устройства:

  • ВЧ-магнетрон оригинальной конструкции;
  • ВЧ-генератор;
  • Магнитная система.

Рабочий фланец - передний, на нем установлен ВЧ-магнетрон и загрузочный модуль.

Одновременно обрабатываются 8 пластин Ø100 мм.

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка плазмохимического травления НИКА-134

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.134
  • Доступность: Предзаказ