Компактная многофункциональная установка выполнена на базе вакуумного поста НИКА-2012-ВП с выкатным фланецем и камерой, оснащенной двумя или тремя откидными дверями.

В разработанной и серийно изготавливаемой установке в одном технологическом цикле реализованы:

  • нанесение функциональных покрытий методами реактивного магнетронного напыления (в том числе с плазменным ассистированием - PARMS) либо вакуумнодугового испарения;
  • предварительная ионная очистка поверхностей подложек в плазме аргона или кислорода;
  • контролируемый нагрев во время процесса.

Перечень устройств установки Ника-12-500-146-02:

  • ионный источник;
  • три-пять магнетронов либо дуговых испарителей;
  • заслонки (на вводе вращения);
  • генератор плазмы РПГ-128 (опционально);
  • вакуумно-дуговой испаритель ВДИ-1000 (опционально).

Загрузка карусельного типа, носители съемные.

Управление автоматическое программное.

Надежная система блокировок исключает аварийные ситуации, обеспечивает сохранность оборудования и данных процессов.

Дистанционный доступ к рабочим программам предусмотрен.


Функциональные покрытия: Ag, Au, NI и др;

 - Упрочняющие покрытия: AlTiN, AlCrN, AlSiTiN, AlSiCrN;

 - Многофазные покрытия: nc-TiN/nc-AlN, nc-TiAlN/a-Si3N4, nc- CrAlN/a-Si3N4, nc-TiN/a-CrB2, nc-Cr2O3/ns-Al2O3, ns-TiO2/nc-Al2O3;

- Жаропрочные, жаростойкие покрытия лопаток компрессора и турбины: СДП 1,2,3 и ВСДП 11,20.

- Ионно-плазменное низкотемпературное азотирование поверхности. Твердость поверхностная   не менее (по AISI 316 L, как пример — не менее 1200 Hv)

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Компактная многофункциональная установка НИКА-146-02

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: НИКА-146-02
  • Доступность: На складе