Вакуумные установки

Установка плазмохимического травления НИКА-134

Травление кремниевых пластин высокочастотным магнетроном

Установка термического и магнетронного напыления НИКА-138-01

Напыление магнетроном и испарителями слоёв до 3 мкм, контроль толщины, подача порошка из вибробункера