Вакуумные камеры

Мы изготавливаем высоковакуумные камеры для научных, технологических и промышленных задач. Конструкции разрабатываются с учётом требований к герметичности, точности, термостойкости и уровню достигаемого вакуума.

Высоковакуумные камеры из нержавеющей стали 

Камеры изготавливаются из нержавеющей стали (аналог AISI 304L) с внутренней аргоновой сваркой и механической полировкой до Ra 0,8.

Доступные габаритные исполнения:

• Ø 250–500 мм, высота до 500 мм

• Ø 500–700 мм, высота до 700 мм

• Ø 700–1000 мм, высота до 1000 мм

Технические характеристики:

• Стандарты фланцевых соединений: CONFLAT (медное уплотнение), ISO KF (резиновое уплотнение)

• Угловая точность ориентации патрубков: < 1°

• Предельно достижимое давление внутри камеры: < 5×10⁻⁶ Па (после прогрева 120°C)

• Максимальный уровень механической полировки внутренней поверхности камеры: Ra 0,8

Высоковакуумные камеры по объёму

Камеры объёмом до 100 л

• Материал: нержавеющая сталь / алюминиевый сплав

• Диапазон предельного остаточного давления: от 1 Па до 1×10⁻⁵ Па

• Норма герметичности не более:  1,0×10⁻¹³ м³·Па/с

• Допустимый перепад давления между внутренней и внешней поверхностями: не менее 1,2×10⁵ Па

• Шероховатость внутренних поверхностей: не более Ra 1,6

• Шероховатость уплотнительных поверхностей: не более Ra 0,8

Камеры объёмом 100–500 л

Технические параметры аналогичны камерам до 100 л, с увеличенными габаритами конструкции.

Сварная камера для установок напыления (240 л)

• Материал: нержавеющая сталь 12Х18Н10Т или аналог AISI 304 (немагнитная)

• Предельно-остаточное давление: 1×10⁻⁵ Па

• Тип (если применимо) - с накладными приварными каналами охлаждения

• Термостойкость: до 500°C

• Конструкция предусматривает ласточкины хвосты под уплотнения

Нержавеющая камера для шлюзов электронно-лучевого литографа

• Объём (общий): ~ 53 000 см³

• Материал: сталь 12Х18Н10Т (ГОСТ 5632-2014)

• Предельно-остаточное давление: порядка 10⁻⁴ Па

• Термостойкость: соответствует материалу

• Сборочные единицы варятся из деталей