Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускорители с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Источник линейного вида с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка. Длина зоны равномерности 210 мм.
Ионные источники применяются для:
| Ионный источник | |
| Длина пучка | 200 мм |
| Форма пучка | Полый прямоугольный |
| Ширина пучка | 42 мм |
| Толщина пучка | 5 мм |
| Энергия ионов | 500..2500 эВ |
| Максимальный ток пучка, мА | 300 мА |
| Газовая эффективность | 9 мА/sccm |
| Максимальная линейная плотность тока | 25 мА/см |
| Максимальный угол расхождения пучка, º | 2º |
Нет отзывов об этом товаре.