Принцип действия устройства основан на повышении плотности газового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях.
В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава.
При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.
| Измерение давления | |
| Диапазон рабочих давлений, Па | 0,05..10 Па |
| Магнетрон | |
| Максимальная толщина мишени | 6 мм |
| Длина мишени | 310 мм |
| Ширина мишени | 95 мм |
| Максимальный ток, А | 15 А |
| Выходные параметры | |
| Мощность, Вт | 12000 Вт |
| Напряжение | 800 В |
Нет отзывов об этом товаре.