Принцип работы устройства заключается в ионизации атомов рабочего газа в разряде постоянного тока в скрещенных магнитном и электрическом полях. Разряд образуется при подаче рабочего газа и напряжения питания в область, ограниченную двумя магнитными полюсами катода и анодом.
| Электрические параметры | |
| Напряжение питания, В | 1500 - 5000 В |
| Ионный источник | |
| Длина пучка | 100 мм |
| Форма пучка | Полый прямоугольный |
| Ширина пучка | 42 мм |
| Толщина пучка | 5 мм |
| Максимальный ток пучка, мА | 250 мА |
| Газовая эффективность | 9 мА/sccm |
| Максимальная линейная плотность тока | 25 мА/см |
| Максимальный угол расхождения пучка, º | 2º |
Нет отзывов об этом товаре.