Газоразрядный ионный источник, генерирующий пучок трубчатой формы. Благодаря тому, что позволяет сконцентрировать до 150 мА ионного тока в пятне диаметром 25 мм, оптимально подходит для ионного распыления мишеней небольшого размера.
По принципу действия источник ионов - ускоритель с анодным слоем (УАС). Большая величина ионного тока, сфокусированного в пятне небольшого диаметра позволяет производить эффективное распыление металлов, диэлектриков и полупроводников. За счёт малого размера области распыления она представляет собой практически точечный источник, что позволяет получить высокую равномерность толщины напыляемого слоя при соответствующей геометрии напылительной системы.
| Ионный источник | |
| Форма пучка | Полый цилиндрический |
| Диаметр пучка | 24 мм |
| Энергия ионов | 500..2500 эВ |
| Максимальный ток пучка, мА | 120 мА |
| Газовая эффективность | 9 мА/sccm |
| Максимальный угол расхождения пучка, º | 2º |
Нет отзывов об этом товаре.