• Главная

  • Электронно-лучевое оборудование

  • Установки

  • Комплектующие

  • Блоки питания

  • Вакуумметры

  • Медиа

  • Контакты

  • Источник ионов ИИ-145


    Производитель: Beams&Plasmas
    Код товара: ЛЦМК.247
    Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
    0.00 р. Без НДС: 0.00 р.
    В корзину

    Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка.

    Газоразрядные ионные источники, генерирующие протяжённые пучки, по принципу действия - ускорители с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. 

    Ионные источники применяются для:

    • распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
    • ассистирования при магнетронном напылении;
    • ионной очистки, травления;
    • полировка;
    • плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
    • модификация поверхности. 



    Ионный источник
    Длина пучка 120 мм
    Форма пучка Полый прямоугольный
    Ширина пучка 42 мм
    Толщина пучка 5 мм
    Энергия ионов 300..2500 эВ
    Максимальный ток пучка, мА 250 мА
    Газовая эффективность 9 мА/sccm
    Максимальная линейная плотность тока 25 мА/см
    Максимальный угол расхождения пучка, º

    Нет отзывов об этом товаре.