Магнетрон-250 протяженный предназначен для нанесения тонких пленок различных материалов на подложку в вакууме. В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава. При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.
Конструкция позволяет производить различные комбинации размещения магнетрона в камере.
Измерение давления | |
Диапазон рабочих давлений, Па | 0,01..10 Па |
Магнетрон | |
Максимальная мощность, Вт | 12000 Вт |
Максимальное напряжение | 2000 В |
Максимальная толщина мишени | 10 мм |
Длина мишени | 250 мм |
Ширина мишени | 94 мм |
Максимальный ток, А | 20 А |
Нет отзывов об этом товаре.