Распылительная система для круглых мишеней из проводящих мишеней диаметром 50 мм.
Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.
В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава. При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.
Минимальный расход ОЖ при рабочей мощности 1 кВт 1 л/мин
Охлаждающая жидкость (рекомендуемая) дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72
Для различных применений есть специальные исполнений.
| Измерение давления | |
| Диапазон рабочих давлений, Па | 0,07..10 Па |
| Магнетрон | |
| Максимальная мощность, Вт | 1000 Вт |
| Рабочий газ | Аргон |
| Диаметр мишени | 50 мм |
| Максимальная толщина мишени | 3 мм |
| Рабочее напряжение, В | 300-800 В |
| Максимальный ток, А | 5 А |
Нет отзывов об этом товаре.