Вакуумная шлюзовая установка «Ника-12701» предназначена для плазмохимического травления пластин диаметром до 100 мм с контролем глубины травления.
Вакуумная камера установки оснащена:
Установка имеет автоматическое программное управление, обеспечивающее проведение технологического процесса в следующих режимах:
а) наладочный режим - управление механизмами и устройствами для выполнения наладочных, ремонтно-профилактических работ;
б) ручной режим - управление элементами установки с соблюдением всех блокировок, исключающих возникновение внештатных ситуаций;
в) автоматический режим - реализация автоматического цикла технологической программы (технологического рецепта).
Нет отзывов об этом товаре.