Установка изготавливается на базе НИКА-2014 производства ООО "ЛВТ+". Ника-2014 - серия малогабаритных вакуумных шлюзовых установок травления или осаждения полупроводников и диэлектриков в среде высокоплотной плазмы установки выпускаются с шлюзовой и ручной загрузкой.
В состав Ника-2014 штатно входят:
- Установка НИКА-2014-ПХТ обеспечивает равномерность обработки 3% на диаметре 200 мм.
- Камера оснащена подъёмным механизмом для проведения обслуживания.
| Электрические параметры | |
| Напряжение питания, В | |
| Общие характеристики | |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | 1200 х 850 х 1500 |
| Масса, кг | |
Нет отзывов об этом товаре.