НИКА-158-03 установка одностороннего магнетронного напыления резистивных слоев
Код товара: НИКА-158-03
Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
Установка вакуумного одностороннего напыления резистивных слоев «Ника-158-03» предназначена для напыления покрытий на поликоровые, ситалловые, керамические и стеклянные подложки размерами 60х48 мм и 30х24 мм, толщиной 1 мм и 0,5 мм.
Основная область применения установки - электроника и ГИС .
Установка может оснащаться различными технологическими устройствами в зависимости от требований технологии.
Установка оснащена:
- нагревателем;
- источником ионов ИИ-250;
- тремя магнетронами-270;
- каруселью с носителями, свидетелем сопротивления (СС) и датчиком температуры (ДТ);
- заслонкой технологических устройств;
- тремя смотровыми окнами с ручными заслонками.
Установка может комплектоваться различными видами носителей, мишеней и подложек в зависимости от технического задания.
Установка имеет автоматическое программное управление, обеспечивающее проведение технологического процесса в следующих режимах:
а) наладочный режим - управление механизмами и устройствами для выполнения наладочных,ремонтно-профилактических работ
б) ручной режим - управление элементами установки с соблюдением всех блокировок, исключающих возникновение внештатных ситуаций
в) автоматический режим - реализация автоматического цикла технологической программы (технологического рецепта).
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 22,7 |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 1·10-5 |
| Рабочие газы | Аргон, кислород |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 30 |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
| Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 15 |
| Масса, кг | (без учета форвакуумного насоса), кг, не более 650 |
| Количество каналов газонапуска, шт | 3 |
Нет отзывов об этом товаре.