• Главная

  • Электронно-лучевое оборудование

  • Установки

  • Комплектующие

  • Блоки питания

  • Вакуумметры

  • Медиа

  • Контакты

  • НИКА-130 Установка ионного травления


    Производитель: Beams&Plasmas
    Код товара: ЛЦМК.130
    Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
    0.00 р. Без НДС: 0.00 р.
    В корзину

    Пример реализации компактной специализированной вакуумной установки ионного травления изделий Заказчика на базе вакуумного поста "НИКА-2012".

    Камера водоохлаждаемая со смотровыми окнами, размер камеры Ø500 х 400 мм.

    Tехнологические устройства:

    • ионный источник типа ускоритель с анодным слоем (УАС) ИИ-125;
    • встроенная система водоподготовки (СОВА).

    В одном автоматическом цикле выполняется процесс травления восьми изделий.

    После загрузки изделий в камеру, оператор её закрывает, рабочий цикл включается автоматически, по заданному рецепту (программе) выполняется рабочий цикл.

    Электрические параметры
    Максимальное потребление тока по фазам, А 36
    Мощность, КВт 11,2
    Напряжение питания, В 380В (±10)
    Общие характеристики
    Предельный вакуум, Па не более 3×10⁻⁴
    Рабочий вакуум, Па не более 1×10⁻³
    Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
    Габаритные размеры (ДхШхВ), мм 1430 х 1000 х 2000
    Масса, кг не более 650
    Количество каналов газонапуска, шт 2
    Вакуумный пост
    Средства откачки ФВН Форвакуумный насос ISP-250

    Нет отзывов об этом товаре.