Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускорители с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Источник линейного вида с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка.

Ионные источники применяются для:

распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
ассистирования при магнетронном напылении;
ионной очистки, травления;
полировка;
плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
модификация поверхности.

Ионный источник
Длина пучка	254 мм
Форма пучка	Полый прямоугольный
Ширина пучка	42 мм
Толщина пучка	5 мм
Энергия ионов	500..2500 эВ
Максимальный ток пучка, мА	250 мА
Газовая эффективность	9 мА/sccm
Максимальная линейная плотность тока	25 мА/см
Максимальный угол расхождения пучка, º	2º