Генератор линейного потока ионов рабочего газа с энергией до 2500 эВ для широкого спектра применений.
Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки.
По принципу действия - ускоритель с анодным слоем (УАС).
Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели.
Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка. Длина зоны равномерности 350 мм.

Ионные источники применяются для:

• распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
• ассистирования при магнетронном напылении;
• ионной очистки, травления;
• полировка;
• плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
• модификация поверхности.