Устройство предназначено для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 300-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации, поверхности, ассистирования при напылении.

Электрические параметры
Напряжение питания, В	600-4000 В
Общие характеристики
Рабочая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72
Рабочие газы	любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства
Масса, кг	не более 11 кг
Ионный источник
Диапазон рабочих давлений в камере	0,001-10 Пa
Форма пучка	полый прямоугольный
Максимальный ток пучка, мА	1500 mA