Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускоритель с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Линейный ионный источник с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка, длина зоны равномерности 650 мм.

Ионные источники применяются для:

  • распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
  • ассистирования при магнетронном напылении;
  • ионной очистки, травления;
  • полировка;
  • плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
  • модификация поверхности. 



Ионный источник
Длина пучка 650 мм
Форма пучка Полый прямоугольный
Ширина пучка 42 мм
Толщина пучка 5 мм
Энергия ионов 500..2500 эВ
Максимальный ток пучка, мА 2000 мА
Газовая эффективность 9 мА/sccm
Максимальная линейная плотность тока 25 мА/см
Максимальный угол расхождения пучка, º

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Источник ионов ИИ-700

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.256
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
  • Цена договорная


Доступные опции


Теги: ИИ-700, ИИ 700, источник ионов, ионный источник, УАС, ионная очистка, ионное травление, ионные источники