В корзине пусто!
Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускоритель с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Линейный ионный источник с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка, длина зоны равномерности 650 мм.
Ионные источники применяются для:
0 отзывов / Написать отзыв
Теги: ИИ-700, ИИ 700, источник ионов, ионный источник, УАС, ионная очистка, ионное травление, ионные источники