Ника-2012-158 - вакуумная установка для одностороннего напыления резистивных и проводниковых слоёв толщиной до 3 мкм.

Составные части, устройства установки

1- каркас

2- вакуумная камера

3 - фланец верхний

4- фланец нижний (рабочий)

5- рама подъемника

6- монитор

7- контроллер ТМН

8- полка с клавиатурой и мышью

9- блок питания ионного источника (БПИИ)

10- блок питания нагревателя (БПН)

11 - блок питания магнетронов (БПМ)

12 - блок водораспределения (БВР)

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А	14 A
Мощность, КВт	13,6 КВт
Напряжение питания, В	400 (+10-15) %
Подключение к сети	TN-S
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па	не более 1·10-5 Па
Рабочие газы	Аргон, кислород
Рабочий вакуум, Па	не более 4·10-3 Па
Время достижения рабочего вакуума, мин.	не более 30 мин
Охлаждающая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллирован- ной воде
Расход охлаждающей жидкости, л.	не более 15 л
Масса, кг	(без учета форвакуумного насоса), кг, не более 650
Количество каналов газонапуска, шт	2