Классическая установка одностороннего напыления проводящих и резистивных слоев серии 2013 на подложки (60х48).

Камера стандартного размера (Ø700 х 500 мм), водоохлаждаемая.

В единой стойке размещены камера, средства откачки, блоки питания и управления, технологические устройства.

Установка для реализации процессов напыления тонких пленок оснащена:

  • тремя магнетронами L400 для напыления тонких пленок;
  • ионным источником ИИ-400М для очистки поверхности подложек;
  • двумя нагревателями с композитным нагревательным элементом;
  • тремя каналами подачи рабочих газов;
  • барабаном с комплектом носителей для подложек (60х48) мм.

Суммарная загрузка - 136 подложек, толщиной от 1 до 0,5 мм.

Система управления оснащена:

  • системой контроля толщины напыленного слоя (по значению удельного сопротивления) по свидетелю сопротивления;
  • датчиком температуры нагрева подложек;
  • позиционируемой заслонкой.

Загрузка проводится с переднего (рабочего) фланца.

Все процессы автоматизированы, управление с сенсорной панели компьютера. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен.

Все действия оператора, текущие параметры процессов сохраняются в журнале.

Надежная система блокировок исключает случайное включение опасных напряжений, аварийные ситуации.

В комплект поставки НИКА -140 включена система оборотного автоматического водоснабжения (СОВА).

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
Мощность, КВт 17 КВт
Напряжение питания, В 380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума, мин. не более 1 часа
Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 15 мин.
Количество каналов газонапуска, шт 3
Масса, кг не более 900 кг
Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон, азот, кислород, воздух
Рабочий вакуум, Па 2·10-3 Па
Расход охлаждающей жидкости, л. не более 12 л

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка магнетронного напыления НИКА-140

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.140
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная