Классическая установка одностороннего напыления проводящих и резистивных слоев серии 2013 на подложки (60х48).

Камера стандартного размера (Ø700 х 500 мм), водоохлаждаемая.

В единой стойке размещены камера, средства откачки, блоки питания и управления, технологические устройства.

Установка для реализации процессов напыления тонких пленок оснащена:

• тремя магнетронами L400 для напыления тонких пленок;
• ионным источником ИИ-400М для очистки поверхности подложек;
• двумя нагревателями с композитным нагревательным элементом;
• тремя каналами подачи рабочих газов;
• барабаном с комплектом носителей для подложек (60х48) мм.

Суммарная загрузка - 136 подложек, толщиной от 1 до 0,5 мм.

Система управления оснащена:

• системой контроля толщины напыленного слоя (по значению удельного сопротивления) по свидетелю сопротивления;
• датчиком температуры нагрева подложек;
• позиционируемой заслонкой.

Загрузка проводится с переднего (рабочего) фланца.

Все процессы автоматизированы, управление с сенсорной панели компьютера. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен.

Все действия оператора, текущие параметры процессов сохраняются в журнале.

Надежная система блокировок исключает случайное включение опасных напряжений, аварийные ситуации.

В комплект поставки НИКА -140 включена система оборотного автоматического водоснабжения (СОВА).