Классическая установка одностороннего напыления проводящих и резистивных слоев серии 2013 на подложки (60х48).
Камера стандартного размера (Ø700 х 500 мм), водоохлаждаемая.
В единой стойке размещены камера, средства откачки, блоки питания и управления, технологические устройства.
Установка для реализации процессов напыления тонких пленок оснащена:
- тремя магнетронами L400 для напыления тонких пленок;
- ионным источником ИИ-400М для очистки поверхности подложек;
- двумя нагревателями с композитным нагревательным элементом;
- тремя каналами подачи рабочих газов;
- барабаном с комплектом носителей для подложек (60х48) мм.
Суммарная загрузка - 136 подложек, толщиной от 1 до 0,5 мм.
Система управления оснащена:
- системой контроля толщины напыленного слоя (по значению удельного сопротивления) по свидетелю сопротивления;
- датчиком температуры нагрева подложек;
- позиционируемой заслонкой.
Загрузка проводится с переднего (рабочего) фланца.
Все процессы автоматизированы, управление с сенсорной панели компьютера. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен.
Все действия оператора, текущие параметры процессов сохраняются в журнале.
Надежная система блокировок исключает случайное включение опасных напряжений, аварийные ситуации.
В комплект поставки НИКА -140 включена система оборотного автоматического водоснабжения (СОВА).
Электрические параметры | |
Максимальное потребление тока по фазам, А | 32 А |
Мощность, кВт | 17 КВт |
Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
Общие характеристики | |
Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
Рабочие газы | аргон, азот, кислород, воздух |
Рабочий вакуум, Па | 2·10-3 Па |
Время достижения предельного вакуума, мин. | не более 1 часа |
Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 15 мин. |
Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде |
Расход охлаждающей жидкости, л. | не более 12 л |
Масса, кг | не более 900 кг |
Количество каналов газонапуска, шт | 3 |
Установка магнетронного напыления НИКА-140
- Производитель: Beams&Plasmas
- Код товара: ЛЦМК.140
- Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
-
Цена договорная