Установка предназначена для напыления проводящих материалов методом магнетронного напыления в одном цикле, включая ионную очистку перед напылением. Установка выполнена на базе вакуумного поста серии НИКА-2013.

Средства откачки: криогенный насос и спиральный форвакуумный насос

Технологические устройства (на заднем фланце):

• 4 магнетрона;
• 1 ионный источник;
• 2 нагревателя.

На переднем фланце на охлаждаемом вводе вращения установлены:

• барабан с носителями (8 пластин 48 х 60), суммарная загрузка - 102 пластин;
• барабан с заслонками;
• системы измерений температуры и контроля толщины по свидетелю.

В комплекте поставки установки:

• 2 комплекта сменных носителей (1 комплект - 17 носителей);
• сменные защитные экраны камеры;
• система оборотного автоматического водоснабжения (СОВА).

Все процессы автоматизированы. Управление, контроль процессами с сенсорной панели компьютера.

Цикл предварительной очистки и напыления 4-х материалов (с контролем толщины по свидетелю и температуре) выполняются автоматически.