Установка предназначена для напыления проводящих материалов методом магнетронного напыления в одном цикле, включая ионную очистку перед напылением. Установка выполнена на базе вакуумного поста серии НИКА-2013.

Средства откачки: криогенный насос и спиральный форвакуумный насос

Технологические устройства (на заднем фланце):

  • 4 магнетрона;
  • 1 ионный источник;
  • 2 нагревателя.

На переднем фланце на охлаждаемом вводе вращения установлены:

  • барабан с носителями (8 пластин 48 х 60), суммарная загрузка - 102 пластин;
  • барабан с заслонками;
  • системы измерений температуры и контроля толщины по свидетелю.

В комплекте поставки установки:

  • 2 комплекта сменных носителей (1 комплект - 17 носителей);
  • сменные защитные экраны камеры;
  • система оборотного автоматического водоснабжения (СОВА).

Все процессы автоматизированы. Управление, контроль процессами с сенсорной панели компьютера.

Цикл предварительной очистки и напыления 4-х материалов (с контролем толщины по свидетелю и температуре) выполняются автоматически.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
Установленная мощность 25,6 кВт
Напряжение питания, В 380-15% +10%
Подключение к сети TN-S
Измерение давления
Диапазон рабочих давлений, Па 0,05..10 Па
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы Ar, O2, N2
Рабочий вакуум, Па 1·10-3 Па
Масса, кг 850 кг
Количество каналов газонапуска, шт 3
Вакуумный пост
Номинальная потребляемая мощность 18 кВт
Размер обрабатываемых подложек 60х48 мм

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка напыления проводящих слоёв НИКА-123

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.123.00.00.00.000
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
  • Цена договорная


Теги: НИКА-123, 123