Откачка сухая, безмасляная.

Средства откачки - турбомолекулярный насос и форвакуумный насос. Форвакуумный насос размещается за габаритами установки.

Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами. Рабочий фланец -нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.

Технологические устройства установки НИКА-148:

- электродуговой испаритель с заслонкой с молибденовым катодом;

- электродуговой испаритель с заслонкой и с титановым катодом;

- нагреватель с углекомпозитным нагревательным элементом;

- РПГ-128 - радиочастотный плазменный генератор с согласующим устройством;

- планетарная карусель для размещения загрузки заказчика;

- пирометр.

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А	32 А
Мощность, КВт	24 КВт
Напряжение питания, В	380В (+10-15) %
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па	не более 7·10-5 Па
Рабочий вакуум, Па	1·10-3 Па
Время достижения предельного вакуума, мин.	не более 2 часов
Время достижения рабочего вакуума, мин.	не более 30 мин
Охлаждающая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Расход охлаждающей жидкости, л.	не более 15 л
Масса, кг	не более 750 кг
Количество каналов газонапуска, шт	2
Вакуумный пост
Средства откачки	ВВН турбомолекулярный насос FF-200/1300E ФВН форвакуумный насос НВСп-35