Пример реализации компактной специализированной вакуумной установки ионного травления изделий Заказчика на базе вакуумного поста "НИКА-2012".

Камера водоохлаждаемая со смотровыми окнами, размер камеры Ø500 х 400 мм.

Технологические устройства:

В одном автоматическом цикле выполняется процесс травления восьми изделий.

После загрузки изделий в камеру, оператор её закрывает, рабочий цикл включается автоматически, по заданному рецепту (программе) выполняется рабочий цикл.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 14
Мощность, КВт 9
Напряжение питания, В 380 (10±15%)
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па не более 1×10⁻³
Рабочие газы аргон
Рабочий вакуум, Па не более 4×10⁻³
Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 30
Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Масса, кг не более 500
Количество каналов газонапуска, шт 2
Выходные параметры
Расход охлаждающей жидкости, л/мин не более 1500
Вакуумный пост
Расположение камеры Камера вертикальная Ф500 мм
Средства откачки Форвакуумный насос (ФН) НВСп-35
Система оборотного водоснабжения
Объем бака, л не более 15

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

НИКА-155 Установка ионного травления

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.155.00.00.00
  • Доступность: Предзаказ
  • Цена договорная


Теги: НИКА 155, 155