Установка напыления PVD покрытий НИКА-166 предназначена для формирования упрочняющих, антифрикционных и иных функциональных покрытий.
Основная область применения установки - нанесение упрочняющих покрытий на осевой инструмент и твёрдосплавные пластины.

Установка может оснащаться различными технологическими устройствами в зависимости от требований технологии.

  • Вакуумная камера диаметром 500 мм с тремя дверями для облегчения обслуживания;
  • На каждой двери по две позиции для размещения магнетронов или дуговых испарителей с высотой зоны обработки 200 мм;
  • Источник ионов для подготовки поверхности и ассистирования;
  • Нагреватель 3 кВт;
  • Генератор плазмы для ассистирования и азотирования (опционально);
  • Карусель диаметром 350 мм. 


Покрываемые изделия размещаются на планетарной карусели диаметром 350 мм, максимальная длина покрываемого изделия - 250 мм. Сателлиты выполнены съёмными для облегчения перегрузки.
Установка может комплектоваться различными технологическими устройствами в зависимости от требований технологии:

  • планарными или цилиндрическими магнетронами для формирования плотных многослойных покрытий различных соединения без капельной фазы;
  • линейными дуговыми испарителями для высокоскоростного нанесения покрытий с низкой долей капельной фазы;
  • импульсными дуговыми испарителями для нанесения алмазоподобных DLC покрытий;
  • генератором плазмы для увеличения скорости нанесения покрытий и управления их стехиометрическим составом за счёт пространственного разделения процессов распыления мишени и ионизации химически активного газа (азота, кислорода).
    Азотная плазма высокой плотности позволяет производить азотирование деталей перед нанесением твёрдого покрытия.\
  • системами термического испарения в магнетронном разряде (ТИМР) для высокоскоростного (до 1 мкм/мин) хромирования.

Нагревательный элемент из углерод-углеродного композита, закрытый металлическим экраном для предохранения от запыления, позволяет быстро и эффективно нагреть загрузку. В отличии от нагрева за счёт ионной бомбардировки, инфракрасное излучение равномерно нагревает все изделия в загрузке, не вызывая локального перегрева, распыления режущих кромок и ожогов от микродуг на поверхности изделий.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
Мощность, кВт 24 КВт
Напряжение питания, В 380В +10-15 %
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочий вакуум, Па 3·10-3 Па
Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 40 мин
Расход охлаждающей жидкости, л. 15 литров
Масса, кг не более 850 кг
Количество каналов газонапуска, шт 2
Вакуумный пост
Средства откачки ВВН (Турбомолекулярный насос KYKY FF-200/1300E (ТМН) ФВН (Форвакуумный спиральный насос Edwards XDS35i (ФН)

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

НИКА-166 установка напыления PVD покрытий

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.166
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
  • Цена договорная


Рекомендуемые товары

НИКА-146-02 Компактная многофункциональная установка

НИКА-146-02 Компактная многофункциональная установка

Компактная многофункциональная установка выполнена на базе вакуумного поста НИКА-2012-ВП с выкатным ..

0.00 р. Без НДС: 0.00 р.

Теги: НИКА-166, НИКА-2012