Малогабаритная установка серии НИКА 12-500 предназначена для нанесения резистивным испарением тонких слоев металлов толщиной до 3 мкм с прямым контролем толщины в момент нанесения слоёв.

Камера водоохлаждаемая, оснащена тремя смотровыми окнами.

Система безмасляной вакуумной откачки:

  • крионасос НВК-160;
  • ФВН НВСп-12.

Тонкие слои металлов выполняются методом резистивного испарения с предварительной плазменной очисткой и нагревом подложек.

Комплект технологических устройств:

  • радиочастотный генератор плазмы (РПГ-128) для очистки поверхности подложек;
  • три резистивных испарителя;
  • нагреватель.

На нижнем (рабочем) фланце размещаются:

  • система вращения и позиционирования подложек;
  • позиционируемая заслонка технологических устройств.

На верхнем фланце камеры расположены три кварцевых датчика контроля толщины напыляемых слоёв;

Управление установкой - автоматическое, программное.

Толщина напыления контролируется по кварцевым измерителям толщины.

Надежная система блокировок исключает аварийные ситуации, обеспечивает сохранность оборудования и данных процессов.

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка напыления с плазменной очисткой НИКА-137

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.137
  • Доступность: Предзаказ
  • Цена договорная