Малогабаритная установка серии НИКА 12-500 предназначена для нанесения резистивным испарением тонких слоев металлов толщиной до 3 мкм с прямым контролем толщины в момент нанесения слоёв.

Камера водоохлаждаемая, оснащена тремя смотровыми окнами.

Система безмасляной вакуумной откачки:

  • крионасос НВК-160;
  • форвакуумный насос НВСп-12.

Тонкие слои металлов выполняются методом резистивного испарения с предварительной плазменной очисткой и нагревом подложек.

Комплект технологических устройств:

  • радиочастотный генератор плазмы (РПГ-128) для очистки поверхности подложек;
  • три резистивных испарителя;
  • нагреватель.

На нижнем (рабочем) фланце размещаются:

  • система вращения и позиционирования подложек;
  • позиционируемая заслонка технологических устройств.

На верхнем фланце камеры расположены три кварцевых датчика контроля толщины напыляемых слоёв;

Управление установкой - автоматическое, программное.

Толщина напыления контролируется по кварцевым измерителям толщины.

Надежная система блокировок исключает аварийные ситуации, обеспечивает сохранность оборудования и данных процессов.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
Мощность, КВт 22,5 КВт
Напряжение питания, В 380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 15 мин.
Количество каналов газонапуска, шт 1
Масса, кг не более 550 кг
Площадь зоны обслуживания (длина х ширина) мм 2190х2380
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон
Рабочий вакуум, Па 2·10-3 Па
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм (длина х ширина х высота) Мм 1428х1010х1933

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка напыления с плазменной очисткой НИКА-137

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.137
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная


Теги: тонкие пленки, тонкопленочные технологии, ГИС, установка вакуумного напыления