Малогабаритная установка серии НИКА 12-500 предназначена для нанесения резистивным испарением тонких слоев металлов толщиной до 3 мкм с прямым контролем толщины в момент нанесения слоёв.

Камера водоохлаждаемая, оснащена тремя смотровыми окнами.

Система безмасляной вакуумной откачки:

• крионасос НВК-160;
• форвакуумный насос НВСп-12.

Тонкие слои металлов выполняются методом резистивного испарения с предварительной плазменной очисткой и нагревом подложек.

Комплект технологических устройств:

• радиочастотный генератор плазмы (РПГ-128) для очистки поверхности подложек;
• три резистивных испарителя;
• нагреватель.

На нижнем (рабочем) фланце размещаются:

• система вращения и позиционирования подложек;
• позиционируемая заслонка технологических устройств.

На верхнем фланце камеры расположены три кварцевых датчика контроля толщины напыляемых слоёв;

Управление установкой - автоматическое, программное.

Толщина напыления контролируется по кварцевым измерителям толщины.

Надежная система блокировок исключает аварийные ситуации, обеспечивает сохранность оборудования и данных процессов.