Установка выполнена на базе вакуумного поста серии НИКА-2013.

Средства откачки: криогенный насос НВК-200 и форвакуумный насос - ISP-500C

Технологические устройства (на заднем фланце):

  • 4 магнетрона;
  • 1 ионный источник;
  • 2 нагревателя.

На переднем фланце на охлаждаемом вводе вращения установлены:

  • барабан с носителями (8 пластин 48 х 60), суммарная загрузка - 102 пластин;
  • барабан с заслонками;
  • системы измерений температуры и контроля толщины по свидетелю.

В комплекте поставки установки:

  • 2 комплекта сменных носителей (1 комплект - 17 носителей);
  • сменные защитные экраны камеры;
  • система оборотного автоматического водоснабжения (СОВА).

Все процессы автоматизированы. Управление, контроль процессами с сенсорной панели компьютера.

Цикл предварительной очистки напыления 4-х материалов (с контролем толщины по свидетелю и температуре) выполняются автоматически.

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка магнетронного напыления НИКА-135

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.135
  • Доступность: Предзаказ
  • Цена договорная