Установка выполнена на базе вакуумного поста серии НИКА-2013.

Средства откачки: криогенный насос НВК-200 и форвакуумный насос - ISP-500C

Технологические устройства (на заднем фланце):

  • 4 магнетрона;
  • 1 ионный источник;
  • 2 нагревателя.

На переднем фланце на охлаждаемом вводе вращения установлены:

  • барабан с носителями (8 пластин 48 х 60), суммарная загрузка - 102 пластин;
  • барабан с заслонками;
  • системы измерений температуры и контроля толщины по свидетелю.

В комплекте поставки установки:

  • 2 комплекта сменных носителей (1 комплект - 17 носителей);
  • сменные защитные экраны камеры;
  • система оборотного автоматического водоснабжения (СОВА).

Все процессы автоматизированы. Управление, контроль процессами с сенсорной панели компьютера.

Цикл предварительной очистки напыления 4-х материалов (с контролем толщины по свидетелю и температуре) выполняются автоматически.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
Мощность, КВт 17 КВт
Напряжение питания, В 380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
Количество каналов газонапуска, шт 3
Масса, кг не более 900 кг
Площадь зоны обслуживания (длина х ширина) мм 4018х5415
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон, азот, кислород, воздух
Рабочий вакуум, Па 2·10-3 Па
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм (длина х ширина х высота) Мм 1618х1415х2053

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка магнетронного напыления НИКА-135

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.135
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная