Вакуумный пост малогабаритный с вертикальной камерой, интегрированной в единую стойку.

Камера водоохлаждаемая из нержавеющей стали (Ø500х450 мм).

Откачка сухая безмасляная (спиральный форвакуумный и криогенный или турбомолекулярный насосы).

Камера оснащается смотровыми окнами, откидными крышками-фланцами для технологических устройств (варианты исполнений предусмотрены).

Конструкция камеры унифицированная - для установки технологических устройств предусмотрено до 10 посадочных мест (ISO63), смотровые окна (ISO160), количество и компоновка устройств определяется ТЗ на вакуумную установку.

Загрузка размещается на горизонтальной карусели или на вертикальном барабане.

В стойке 19' размещаются устройства откачки, автоматики, блоки питания технологических устройств (ВИП, СИП, ГВЧ...)

Площадь размещения с зоной обслуживания – 3 м2.

Предпочтительное решение для малосерийного производства, опытно-экспериментальных работ.

Альтернатива установкам серии УВН-71.

Электрические параметры
Подключение к сети 3ф 380В (3P+N+PE)
Общие характеристики
Габаритные размеры 1430/2230 мм х 1004/1440 мм х 2100мм (Ширина х Глубина х Высота с закрытыми/открытыми дверями шкафа)
Вакуумный пост
Стандартная комплектация БУВС - блок управления вакуумной системой; БВР - блок водораспределения; ВМЦ - вакуумметр магниторазрядный (высокий вакуум) 1 шт.; ВТРЦ - вакуумметр терморезистивный (низкий вакуум) 3 шт.; Система управления - Компьютер, монитор (сенсорный), ПУ (пульт управления) Панель подключений
Компоновка Камера вертикальная, рабочий фланец - нижний
Средства откачки Откачка сухая, безмасляная. Высокий вакуум - ТМН (турбомолекулярный насос) или Крионасос; Форвакуумный спиральный насос.
Вакуумная камера
Ориентация вертикальная
Материал Нержавеющая немагнитная сталь (AISI316)
Диаметр 500 мм
Высота 450 мм (варианты возможны)
Окна 1 х ISO160 (варианты исполнений предусмотрены)
Рабочий фланец нижний, предусмотрены посадочные места под технологические устройства - 5 (ISO63)

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

НИКА-2012-ВП

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.125
  • Доступность: Предзаказ

Доступные опции